全新上照式設(shè)計(jì),搭載全自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)和影像識(shí)別功能,既能檢測納米級(jí)厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿足微區(qū)RoHS檢測及全元素成分分析。
1)搭載微聚焦加強(qiáng)型X射線發(fā)生器和*光路轉(zhuǎn)換聚焦系統(tǒng),最小測量面積達(dá)0.03mm2
2)擁有無損變焦檢測技術(shù),手動(dòng)變焦功能,可對(duì)各種異形凹槽件進(jìn)行無損檢測,凹槽深度范圍0-90mm
3)核心EFP算法,可對(duì)多層多元素,包括同種元素在不同層都可快、準(zhǔn)、穩(wěn)的做出數(shù)據(jù)分析(釹鐵硼磁鐵上Ni/Cu/Ni/FeNdB,精準(zhǔn)檢測第一層Ni和第三層Ni的厚度)
4)配備全自動(dòng)可編程移動(dòng)平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)無人值守,對(duì)成百上千個(gè)樣品進(jìn)行全自動(dòng)檢測
5)涂鍍層分析范圍:鋰Li(3)- 鈾U(92)
6)成分分析范圍:鋁Al(13)- 鈾U(92)
7)RoHS、鹵素有害元素檢測
8)人性化封閉軟件,自動(dòng)判斷故障提示校正及操作步驟,避免誤操作
9)標(biāo)配四準(zhǔn)直器自動(dòng)切換
10)配有微光聚集技術(shù),最近測距光斑擴(kuò)散度小于10%
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